原子间力显微镜（Atomic Force Microscope ，AFM），一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。将一对微弱力极端敏感的微悬臂一端固定，另一端的微小针尖接近样品，这时它将与其相互作用，作用力将使得微悬臂发生形变或运动状态发生变化。扫描样品时，利用传感器检测这些变化，就可获得作用力分布信息，从而以纳米级分辨率获得表面形貌结构信息及表面粗糙度信息。
它主要由带针尖的微悬臂、微悬臂运动检测装置、监控其运动的反馈回路、使样品进行扫描的压电陶瓷扫描器件、计算机控制的图像采集、显示及处理系统组成。微悬臂运动可用如隧道电流检测等电学方法或光束偏转法、干涉法等光学方法检测，当针尖与样品充分接近相互之间存在短程相互斥力时，检测该斥力可获得表面原子级分辨图像，一般情况下分辨率也在纳米级水平。AFM测量对样品无特殊要求，可测量固体表面、吸附体系等。
概括
原子力显微镜（atomic force microscope，简称AFM）利用微悬臂感受和放大悬臂上尖细探针与受测样品原子之间的作用力，从而达到检测的目的，具有原子级的
分辨率。由于原子力显微镜既可以观察
导体，也可以观察非导体，从而弥补了
扫描隧道显微镜的不足。原子力显微镜是由IBM公司苏黎世研究中心的
格尔德·宾宁于一九八五年所发明的，其目的是为了使非
导体也可以采用类似
扫描探针显微镜（SPM）的观测方法。原子力显微镜（AFM）与
扫描隧道显微镜（STM）最大的差别在于并非利用电子隧穿效应，而是检测原子之间的接触，原子键合，
范德瓦耳斯力或
卡西米尔效应等来呈现样品的表面特性。
详细
图1. 激光检测原子力显微镜探针工作示意图 原子力显微镜的基本原理是：将一个对微弱力极敏感的微
悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，针尖与
样品表面轻轻接触，由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力，通过在扫描时控制这种力的恒定，带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。利用光学检测法或隧道电流检测法，可测得微
悬臂对应于扫描各点的位置变化，从而可以获得样品
表面形貌的信息。我们以激光检测原子力显微镜（Atomic Force Microscope Employing Laser Beam Deflection for Force Detection,Laser-AFM）来详细说明其工作原理。
如图1所示，
二极管激光器（Laser Diode）发出的激光束经过
光学系统聚焦在微
悬臂（Cantilever）背面，并从微悬臂背面反射到由光电二极管构成的光斑位置
检测器（Detector）。在
样品扫描时，由于样品表面的原子与微
悬臂探针尖端的原子间的相互作用力，微悬臂将随样品
表面形貌而弯曲起伏，反射光束也将随之偏移，因而，通过光电二极管检测光斑位置的变化，就能获得被测样品表面形貌的信息。
子力显微镜——原理图 在系统检测成像全过程中，探针和被测样品间的距离始终保持在
纳米（10e-9米）量级，距离太大不能获得样品表面的信息，距离太小会损伤探针和被测样品，
反馈回路(Feedback）的作用就是在工作过程中，由探针得到探针-样品相互作用的强度，来改变加在样品扫描器垂直方向的电压，从而使样品伸缩，调节探针和被测样品间的距离，反过来控制探针-样品相互作用的强度，实现反馈控制。因此，反馈控制是本系统的核心工作机制。本系统采用数字反馈控制回路，用户在控制
软件的参数工具栏通过以参考电流、积分增益和比例增益几个参数的设置来对该反馈回路的特性进行控制。
