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SOLAR
ALIS–C LBICArea Laser Scanner Unit
| 通过Laser扫描检出光电流方式 ■ 不受多结晶Cell的晶界影响呈现清晰的画像 ■ 裂痕自动认知、可自动判定OK/NG ■ Laser扫描时间1秒的高速画像获取 ■ 通过 I/O信号控制可对应Inline自动检查 ■ |  |
通过检查Recipe设定各种的检查条件、检出敏感度以及经过无数次优化的软件使操作性更加优异，哪怕很小的裂痕都不会放过。
并且具有统计功能的软件、不仅可以绘画出OK/NG率的趋势图、也可以通过有裂痕画像的重叠机制，更方便找到裂痕发生原因。
